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事業内容

サムコは半導体等の電子部品製造装置メーカーであり、薄膜形成装置（CVD装置）、微細加工装置（エッチング装置）、洗浄装置等を製造・販売している。特に、低温で均一性に優れた薄膜を形成できるLS-CVD装置や、環境に優しいAqua Plasma洗浄装置など、安全性と効率性を兼ね備えた製品を提供する。事業は化合物半導体、シリコン半導体、電子部品、ヘルスケア分野など多岐にわたる。 同社は、製品開発において、顧客のニーズに応じた高精度な技術を提供しており、特に高密度プラズマを利用したエッチング装置や、環境に配慮した水蒸気洗浄装置の展開が特徴的である。 また、製品は自社設計によるものを基に、協力会社との連携で製造され、販売とともにアフターサービスも行う。海外市場では現地代理店を通じた販売を行っており、グローバルな展開も進めている。

セグメント

• 化合物半導体分野: 窒化ガリウム（GaN）、ガリウムヒ素（GaAs）などの化合物を使った半導体デバイスの加工

• シリコン半導体分野: シリコンウェハーの欠陥解析および加工

• 電子部品分野: MEMS、コンデンサ、センサーなどの電子部品の加工

• ヘルスケア関連分野: マイクロ流体デバイスなど、ヘルスケア向けの加工

プロダクト

• CVD装置: 薄膜を化学反応で形成する装置、半導体膜や絶縁膜などを形成

• エッチング装置: 半導体基板上で微細加工を行う装置、高精度なプラズマを利用

• 洗浄装置: ドライ洗浄を行う装置、超精密な洗浄が可能

• Aqua Plasma洗浄装置: 水蒸気を使用したプラズマ処理による環境に優しい洗浄

地域

• 日本: 国内市場における製造・販売およびアフターサービス

• 台湾: 現地法人を通じて保守サービスを提供